什么是晶体生长炉
晶体生长炉是集成多领域先进技术、通过精密控制物理化学条件来人工合成高质量单晶的关键设备,广泛应用于微电子、光电子、医疗、光学及珠宝等领域。
什么是碳化硅晶体生长
碳化硅晶体的主流生长方法是物理气相传输法,其过程与晶体质量受温度、压力、速度、原料纯度及籽晶质量等多因素共同制约,晶体生长炉是PVT法生长碳化硅晶体的核心设备。
什么是碳化硅-SiC
碳化硅(SiC)是第三代宽禁带半导体材料,具有高硬度、高热导率、高禁带宽度及高击穿电场强度等特性,广泛应用于光伏新能源、5G通信、智能电网等领域,制备工艺复杂,却能显著提升高温、高压、高频等场景下半导体器件的性能与功效。
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