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导电型碳化硅衬底具有低电阻率特性,是制造功率器件的优选衬底。相较于传统硅衬底,它电阻率更低、能量损耗更小,利于高效电力转换。在新能源汽车主驱逆变器、光伏逆变器等领域应用广泛。
导电型碳化硅衬底 | 半绝缘型碳化硅衬底 |
电阻率低 | 电阻率极高 |
为电流传输提供通道,用于制造功率器件 | 像绝缘体,用于射频器件领域 |
应用于新能源汽车动力系统、光伏逆变器领域 | 应用于5G 通信、航空航天领域 |
导电型碳化硅衬底的制造始于高纯度硅粉和碳粉,通过碳热还原或自蔓延高温合成制备碳化硅粉末,利用物理气相传输法(PVT),在2000–2500°C的高温与特定温度梯度下,使碳化硅气相组分于籽晶表面结晶形成晶锭,随后晶锭经定向、切割、研磨及化学机械抛光(CMP)等精密加工,逐步去除损伤层、降低粗糙度并实现原子级平坦化,最终借助严格清洗与多维度检测,确保衬底质量满足应用要求。
新能源汽车邻域
导电型碳化硅衬底应用于主驱逆变器、车载充电机等核心部件,可显著提升能效、延长续航并加快充电速度。
光伏与储能领域
导电型碳化硅衬底助力提升逆变器转换效率与系统稳定性,推动清洁能源高效利用。在工业驱动方面,其高频、低损耗特性优化了伺服驱动器与变频器的控制精度与能效,促进工业自动化升级。
其他领域
导电型碳化硅衬底还应用于轨道交通牵引变流器实现轻量化与高效运行,支撑智能电网关键设备提升能源调控能力,并推动通信电源向高功率密度,为5G与数据中心发展提供关键材料基础。
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