碳化硅衬底
思莱克碳化硅衬底作为半导体核心材料,具有高禁带宽度、高热导率、高击穿场强及高电子迁移率等特性,其制备工艺包括高纯碳化硅粉合成、晶体生长、晶锭加工、晶圆切片、研磨、抛光、清洗等,在新能源、光伏、等领域发挥着关键作用。
碳化硅粉末
思莱克碳化硅粉末采用高纯原料(纯度>99.999%,5N级以上)精制而成,专为碳化硅衬底制备设计。通过机械粉碎法与化学气相沉积(CVD)工艺严格把控。适用于光伏新能源、半导体器件等领域。
碳化硅籽晶衬底
思莱克碳化硅籽晶衬底助力晶体生长与半导体器件性能突破,具有超高硬度、耐高温、宽带隙,化学稳定性等特性,可重复使用未抛光表面。作为石墨坩埚顶部关键模板,精准引导原子结晶,显著提升单晶质量与良率。
碳化硅晶锭
思莱克碳化硅晶锭是高性能半导体的关键材料,具有高禁带宽度、强击穿电场、高热导率、化学稳定等特性,其工艺采用PVT法在2000℃以上高温使碳化硅粉料升华,在籽晶上生长单晶,碳化硅晶棒再经X射线定向、金刚石切割、研磨等加工成晶圆切片。
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