蓝宝石衬底的主要成分是单晶氧化铝(Al2O3),具六方晶系刚玉结构,铝、氧原子特定排列,化学键强,具备硬度高、抗磨损、抗刮擦等性能。其制备工艺主要以高纯度氧化铝为原料,用热交换法(HEM)、泡生法(Kyropoulos)等生长晶体。如热交换法,高温熔炉中氧化铝熔融,经热场控制从籽晶结晶成大尺寸晶体,再经切割、研磨、抛光等工序成晶圆片。
蓝宝石衬底的特点优势
光学性能优越
在紫外至红外波段(300 - 5000nm)透光率超85%,减少LED光传播吸收损失,提升发光效率,在蓝光和UV LED制造中关键。
机械性能卓越
莫氏硬度达9,抗刮耐磨,高温高压下结构稳定,适用于航空航天防护罩、精密仪器组件等领域。
化学稳定性极佳
酸碱等极端化学环境中不易被腐蚀,LED芯片制造中经多种化学处理工序也不反应,保障工艺顺利进行。
电学性能独特
是电绝缘体,制作LED时电极做在同一侧,虽增加设计难度,但为器件小型化和集成化提供可能,还能避免电流泄漏,提高电学稳定性。
照明领域
是LED芯片制造的“完美载体”,为氮化镓等半导体材料提供支撑,耐高温、化学稳定。其高透光率让光子高效穿过,提升发光效率,LED灯具节能超80%。
显示领域
在小型移动设备背光模组和大型液晶显示屏、LED大屏幕中,高透光性和平整度支持LED芯片集成,均匀散射光,高硬度和化学稳定性保护芯片,提高可靠性和使用寿命,优化显示效果。
其他领域
射频电路领域,高绝缘性和低介电损耗减少信号干扰和功率损耗,用于5G基站射频前端模块;特种窗口领域,高硬度等特性用于航空航天光学窗口等;智能穿戴设备中,用于显示屏保护盖板和传感器基底;航空航天领域,用于高精度光学仪器和传感器部件。
应用领域侧重不同
蓝宝石衬底在LED光电领域应用广泛,全球超80%的LED芯片基于其制造;碳化硅衬底在功率器件和高端微波射频领域优势明显,如电动汽车电力驱动系统、5G通信基站射频前端等。
导电性与导热性的差异
蓝宝石衬底是绝缘体,电阻率高,电极需同侧设计,绝缘性有独特优势;碳化硅衬底导电性良好,分导电型和半绝缘型,导热性能明显优于蓝宝石衬底,高功率应用中散热优势大。
价格与成本的考量
蓝宝石衬底制备技术成熟,原料廉价,成本低,2英寸价格约5 - 10美元/片,4英寸约20 - 50美元/片;碳化硅衬底制备工艺复杂,价格高,4英寸导电型约300 - 500美元/片,虽价格下降但仍限制其在成本敏感领域应用。
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