思莱克碳化硅晶圆衬底
当前位置:首页 >> 碳化硅产品 >> 碳化硅材料
碳化硅材料 碳化硅加工设备 碳化硅单晶设备 碳化硅切割清洗

碳化硅粉末


阅读量:123

碳化硅粉末
  • 总结

思莱克碳化硅粉末采用高纯原料(纯度>99.999%,5N级以上)精制而成,专为碳化硅衬底制备设计。通过机械粉碎法与化学气相沉积(CVD)工艺严格把控。适用于光伏新能源、半导体器件等领域。

碳化硅粉末的信息介绍

碳化硅由硅(Si)与碳(C)以 1:1 原子比结合。晶体结构分 α-SiC(六方晶系,高温稳定相)和 β-SiC(立方晶系,纳米级粒径)。其硬度达莫氏 9.2 - 9.5,仅次于金刚石,用于制备碳化硅衬底时,纯度>99.999%(5N级纯度以上)。

热特性

电学性能

热导率 120 - 270 W/m・K,高温下稳定,

热膨胀系数约 4.3×10⁻⁶/℃,抗热震性能出色

耐压能力高,击穿电场达 3×10⁶ V/cm,

耐高温,温度可超 300℃

碳化硅粉末的特点优势

工业级碳化硅粉末

(纯度:90%~99%)

高纯碳化硅粉末

(纯度:99%~99.9%)

电子级碳化硅粉末

(纯度:>99.99%)

纳米级高纯碳化硅粉末

(纯度:>99.9%)

成本低,工艺简单,杂质高,不适电子光学。

常酸洗提纯。

成本高,需控晶体结构等参数。

粒径<100 nm。

加工硬质材料,纯度 90%~98%,控杂质防污染。

制高性能陶瓷,用于化工等,纯度≥99.5%,防杂质降性能。

制备碳化硅衬底,用于半导体器件,纯度>99.999%(5N级纯度以上),控金属杂质。

降烧结温,提致密度。

用于耐火材料,纯度≥95%,耐高温氧化腐蚀。

作核燃料包壳等,耐辐射高温,纯度≥99.9%,控中子吸收杂质。

用于新能源等宽禁带半导体器件,位错等与纯度相关。

无毒性杂质,用于药物载体等。

用于耐磨涂层与复合材料,纯度≥95%,防杂质影响结合。

用于催化剂载体,需高比表面积和稳定性,纯度≥99%,防毒化。

用于紫外等光学器件,需高透过率,纯度>99.995%,防光散射吸收。

用于荧光材料调控发光性能,用于显示技术。


碳化硅粉末的制备工艺

机械粉碎法

硅粉和碳粉在球磨罐中通过研磨球撞击、碾压和混合,实现固态反应生成亚微米级碳化硅粉末,作为复合材料增强相提升能。

阿奇逊法

在高温电阻炉中,石英砂与石油焦 2000 - 2500℃反应生成碳化硅。产能占全球约 80%,用于耐火材料、磨料领域。

化学气相沉积法

化学气相沉积法,硅烷和甲烷在 1500℃左右反应生成纳米级碳化硅颗粒,纯度达 99.99% 以上,用于电子级高纯粉料制备。

溶胶 - 凝胶法

硅溶胶与酚醛树脂形成溶胶,经凝胶化、干燥、碳热还原得到纳米级碳化硅粉体,粒径 50 nm - 1μm 可调,形貌可控。用于高端陶瓷轴承、耐磨涂层领域。

碳还原法

硅粉和碳粉混合,局部点火引发自蔓延反应,10 分钟左右完成合成,效率提升 3 倍,成本低,适用于规模化生产。

碳化硅粉末的相关展示

碳化硅粉末,碳化硅粉体,碳化硅粉料.webp

碳化硅粉末的技术参数


碳化硅粉末-产品规格

高纯导电料

检验类型

检测项目

控制要求

外观

颜色

黄绿色

性能

颗粒度

8-20/20-40目

纯度

>99.9999%

包含元素参照元素指标表



碳化硅粉末包含元素指标

元素

指标要求

ppm wt

元素

指标要求

ppm wt

元素

指标要求

ppm wt

Li

<0.05

K

<0.05

Ni

<0.05

Be

<0.05

Ca

<0.05

Zr

<0.05

B

<0.5

Sc

<0.05

Nb

<0.05

Na

<0.05

Ti

<0.05



Mg

<0.05

V

<0.05



Al

<0.2

Cr

<0.05



P

<0.05

Mn

<0.05



Cl

<0.5

Fe

<0.05



Cu

<0.05

Co

<0.05






推荐产品



网站首页 电话咨询 碳化硅衬底工艺