碳化硅晶圆清洗剂
思莱克碳化硅晶圆清洗剂是水性浓缩剂,结合超声波工艺全方位冲洗,清洁高效,安全环保,可生物降解。适配多种工艺设备,实现一液多用。
碳化硅切割润滑剂
思莱克碳化硅切割润滑剂是一种可生物降解、非腐蚀性水溶液,作为去离子水添加剂可将减少表面张力,提升冷却液渗透性。可延长刀具寿命、减少晶圆崩边、消除静电污染,适用于金刚石线锯工艺,可配备液体分配系统。
皮秒精密激光切割机
思莱克皮秒精密激光切割机利用超短脉冲的冷加工特性,实现碳化硅晶圆的高精度、低损伤切割,适用于复杂形状和超薄晶圆,显著提升切割质量和效率。
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