碳化硅(SiC)衬底是第三代半导体材料代表,凭借宽禁带宽度等独特物理性质,在高温、高压等极端场景优势显著,成为推动新能源汽车等领域变革的关键力量。从新能源汽车到轨道交通,碳化硅器件无处不在,而碳化硅衬底尺寸影响器件性能、成本与效率,12英寸碳化硅衬底成行业焦点。
生产效率飞跃
12英寸晶圆面积是6英寸的4倍,相同工艺下单次产出芯片数量大幅增加,理论上生产效率提升3倍,满足市场对芯片的需求。且12英寸衬底边缘无效区域占比更小,材料利用率更高,如6英寸材料利用率约70%,12英寸可达80%甚至更高,减少资源浪费,降低生产成本。
芯片成本大跳水
12英寸碳化硅衬底凭借规模效应降低芯片成本,晶圆尺寸增大使单次工艺处理芯片数量增加,分摊到每颗芯片的固定成本降低。同时,它与硅基半导体主流产线兼容,可利用成熟设备和工艺,节省成本、缩短建设周期。行业预测,12英寸SiC晶圆大规模量产后,芯片成本有望降低30%-50%,推动SiC器件普及。
性能与可靠性双提升
大尺寸衬底对晶体生长和加工技术要求更高,企业改进长晶技术,降低缺陷密度,提高芯片良率和一致性,保证芯片性能稳定,降低生产成本。
产业链与战略意义深远
电动汽车等领域对SiC器件需求爆发,6英寸产能紧张,12英寸衬底可高效满足需求,保障产业稳定发展。
晶体生长
碳化硅硬度高,生长温度超2300℃,大尺寸晶体生长不均匀易产生缺陷,影响芯片性能和可靠性,控制缺陷是难题。
投资成本
设备升级需购置昂贵新设备,研发投入大,包括招聘人才、建设实验室和进行实验测试等,企业资金压力巨大。
良率爬坡
目前12英寸碳化硅衬底生产良率低,因晶体生长难、设备精度不够、工艺不成熟等。提高良率需优化工艺、改进设备、加强质量控制,过程漫长,企业需持续投入并承受成本压力。
电动汽车
在电机控制器方面,碳化硅MOSFET提升性能,缩小体积、简化冷却系统、减轻重量,增加续航里程10%-15%。在车载充电器方面,碳化硅器件使电动汽车支持800V高压快充,充电时间缩短30%。同时,12英寸碳化硅衬底降低芯片成本,带动部件成本下降,降低电动汽车售价。
光伏/储能
在光伏逆变器中,碳化硅器件提升能量转换效率,降低系统成本。在储能领域,提高充放电效率,减少能量损耗,使系统更紧凑,便于安装部署。
工业能源
在高压电网中,12英寸碳化硅衬底制成的功率器件减少能量损耗,提高输电系统可靠性和稳定性。在轨道交通领域,提高牵引变流器效率和动力性能,减轻列车重量,降低能耗。且推动工业与能源领域规模化发展,形成良性循环。
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