碳化硅衬底与碳化硅外延片解析
碳化硅衬底为器件提供支撑并作为外延模板，但其本身存在晶体缺陷且电学参数不可调，无法满足高性能器件需求。而碳化硅外延片能够修复衬底缺陷、实现掺杂和厚度的灵活调控，是制造高性能碳化硅器件的必备环节。
8英寸碳化硅衬底与6英寸碳化硅衬底对比分析
目前6英寸碳化硅衬底是市场主流，技术成熟、产业链完善。8英寸碳化硅衬底面临晶体质量控制等挑战，初期成本高。但部分企业通过技术优化实现量产逐步替代 6 英寸成为主导，如超芯星、思莱克工业科技等。
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碳化硅衬底工艺