碳化硅衬底技术知识-半导体行业资讯

碳化硅衬底的技术参数解析

碳化硅衬底的性能由其直径、导电类型、结晶质量（微管与位错密度）及表面质量（粗糙度、划痕与颗粒）等核心参数协同决定，这些参数相互关联，共同直接影响着下游器件的性能、良率与可靠性。

蓝宝石衬底与碳化硅衬底的对比分析

蓝宝石衬底和碳化硅衬底是半导体工业邻域中重要的基础衬底材料，各有优势。蓝宝石衬底成本较低，技术成熟在LED照明领域占主导地位，碳化硅衬底具备高导热、耐高压特性等优异特性，在新能源汽车、5G射频器件等领域应用广泛。

碳化硅衬底折射率参考标准

碳化硅衬底的折射率因其晶型多样、光学各向异性及对波长、温度等条件的敏感性，难以形成全球统一强制性标准。

国内碳化硅衬底供应商介绍

国内碳化硅衬底产业已形成以山东天岳、天科合达为龙头，超芯星、思莱克工业科技等多家企业快速发展的格局。思莱克工业科技已实现8英寸衬底量产，产业正朝大尺寸、低缺陷、低成本方向突破，有望提升中国在全球半导体产业链中的竞争力。

碳化硅衬底与碳化硅外延片解析

碳化硅衬底为器件提供支撑并作为外延模板，但其本身存在晶体缺陷且电学参数不可调，无法满足高性能器件需求。而碳化硅外延片能够修复衬底缺陷、实现掺杂和厚度的灵活调控，是制造高性能碳化硅器件的必备环节。

8英寸碳化硅衬底与6英寸碳化硅衬底对比分析

目前6英寸碳化硅衬底是市场主流，技术成熟、产业链完善。8英寸碳化硅衬底面临晶体质量控制等挑战，初期成本高。但部分企业通过技术优化实现量产逐步替代 6 英寸成为主导，如超芯星、思莱克工业科技等。