碳化硅单晶设备-晶体生长设备

碳化硅晶体生长炉

思莱克晶体生长炉是半导体产业中用于制备高质量单晶的关键设备，通过精确控制温度、气氛、真空及机械运动等参数，适配不同材料的单晶生长工艺。其核心结构包括耐高温炉体、高精度加热系统、真空系统、动态气氛控制系统等。

感应加热电源

思莱克感应加热电源具有恒流、恒功率、恒温多种运行模式，内置PID温度闭环控制系统。可满足碳化硅晶圆衬底加工、晶体生长、晶圆处理等需求，助力晶体生长炉提升质量、优化能耗、实现精密温控。

闭式冷却塔

思莱克闭式冷却塔采用高强度耐腐材料，自带大尺寸检修门及检修通道，无需拆卸设备外板，便可进入塔内。可拆式收水器，便捷检修设计，实现工业级运行环境，高效节能，经济环保。

风冷式冷水机

思莱克风冷式冷水机（风冷冰机）是一种空气制冷的设备，通过风机散热，无需冷却塔、水泵和管路。适合水资源缺乏地区，具有高效节能，维护简单等特点。