思莱克工业科技专注碳化硅半导体研发及产业化

企业简介

上海思莱克工业科技有限公司位于上海，这里是中国改革开放的前沿阵地，汇聚了丰富的科技资源和创新活力，为公司的发展提供了得天独厚的外部条件。而公司总部设立在南京，南京作为历史文化名城，同样拥有深厚的产业基础和科研实力，为公司的运营管理和技术研发提供了坚实支撑。

公司的经营范围广泛，涵盖了碳化硅衬底、碳化硅晶体、碳化硅晶片、碳化硅晶圆、碳化硅晶锭、碳化硅籽晶衬底等碳化硅半导体核心材料，其质量和性能直接影响着半导体器件的品质。

同时，公司还涉及碳化硅磨粉机、碳化硅破碎机等碳化硅加工设备，以及晶体生长炉、感应加热电源、闭式冷却塔、风冷式冷水机等碳化硅单晶生长设备，这些设备是生产碳化硅材料的重要工具。

此外，晶圆表面清洗剂用于清洗晶圆表面的杂质，保证晶圆的洁净度。晶圆切割润滑剂可避免切割过程高温导致晶圆破裂或材料变性。蓝宝石晶圆、蓝宝石晶体、蓝宝石晶圆衬底具有高化学稳定性、绝缘性和某些半导体材料的晶格匹配，为半导体邻域作辅助支撑。石墨模具、石墨坩埚、等静压石墨等高纯石墨制品在半导体生产过程中有着重要应用，例如石墨模具可用于材料成型，石墨坩埚可用于高温熔炼。陶瓷研磨抛光盘、陶瓷基板、精密陶瓷部件、耐磨陶瓷材料、钨钼合金、硬质合金等也在公司的业务范畴内，从晶圆到芯片的诸多工艺环节离不开这些部件、材料的支撑，如晶圆的研磨、抛光、刻蚀等工艺流程。而氢氧化钙生产线可生产高纯度氢氧化钙在废液处理、辅助清洗和抛光等环节发挥着重要作用。

公司的业务几乎覆盖了碳化硅半导体从材料到设备，从生产到加工的各个环节。产品广泛应用于5G通讯、航空航天、轨道交通、光伏储能、风力发电、智能电网、人工智能等领域，是国内少数具备国际竞争力的第三代半导体设备与材料供应商。

专注碳化硅衬底研发

在碳化硅半导体领域，对大尺寸、高质量碳化硅衬底的需求日益增长，上海思莱克工业科技有限公司将重心聚焦于 6-8 英寸碳化硅衬底的研发与产业化 。在研发方面投入大量资源，组建了由行业专家、博士、硕士组成的高素质技术团队。团队在晶体生长、碳化硅衬底加工等领域经验丰富，持续跟踪国际前沿技术，优化工艺方法，不断提升衬底质量与性能。

在碳化硅衬底研发中，晶体生长工艺是核心环节。公司技术团队持续优化PVT法参数，包括温度场分布和气体流量控制，显著提升了晶体质量与生长速率。通过大量实验和模拟，研发人员确定了最佳温度梯度，实现均匀结晶并减少缺陷。同时精准调控硅、碳源气体比例，确保化学计量比准确，从而优化晶体性能。

碳化硅衬底加工工艺至关重要，涵盖晶锭切割、研磨、抛光等关键工序。公司采用先进多线切割设备，优化切割速度、压力和线张力等参数，显著减少表面损伤和裂纹，提升切割片质量和成品率。此外，研发团队改良清洗剂和抛光液配方，开发出适配碳化硅衬底的加工工艺，使碳化硅衬底表面能够达到更高的平整度和光洁度，满足半导体器件制造的严苛标准。

展望未来

上海思莱克工业科技凭借着研发专注与团队努力，在6-8英寸碳化硅衬底领域取得技术优势，产品质量行业领先，获得客户高度认可。通过技术突破、严控质量及成本优化，公司成为国内具国际竞争力的第三代半导体供应商。未来将拓展国际市场，布局欧美亚销售网络，并加大研发投入，聚焦5G、新能源汽车等领域开发高性能碳化硅半导体器件。